Галоуглерод-41 метилфторид

Флуорометан , также известный как метилторид , Freon 41 , Halocarbon-41 и HFC-41 , представляет собой нетоксичный, разжиженный и легковоспламеняющийся газ при стандартной температуре и давлении. Он изготовлен из углерода , водорода и фтора . Название связано с тем фактом, что это метатан (CH ₄ ) с атомом фтора, замененного одним из атомов водорода.

Он используется при изготовлении полупроводниковых и электронных продуктов. В присутствии РЧ-поля флуорометан будет диссоциации на ионы фторида, которые избирательно тратят кремниевые составные пленки ( реактивное ионное травление ).