анизотропное травление. контроль. Другие галоидоуглероды, а также присутствие воздуха или кислорода вредны для контроля тетрафторида, что приводит к лучшему контролю процесса, что приводит к лучшим размерам и профилю. В условиях более высокой чистоты карбон или CF2 свободные радикалы фтора обычно находятся в форме CF3 Углерод. Тетрафторид относительно инертен при нормальных условиях и обладает удушающим действием. Под RF плазмопроцессами. Тетрафторид углерода используется с кислородом для травления поликремния, диоксида кремния и нитрида кремния. Тетрафторид углерода является источником свободных радикалов фтора или фторуглерода, используемых при травлении различных пластин.
Contact Now