Тетрафторметан CF4 R14 специальный газ

Тетрафторид углерода - негорючий сжатый газ без цвета и запаха, упакованный в баллоны под давлением до 2000 фунтов на квадратный дюйм. Тетрафторид углерода обычно используется в качестве низкотемпературного хладагента. Он также используется в микротехнологии электроники отдельно или в сочетании с кислородом в качестве плазменного травителя кремния, диоксида кремния и нитрида кремния.